スーパージャンクション構造のピラー幅・密度の設計値による電気的特性の3Dシミュレーション解析

カテゴリ: 部門大会

論文No: Y-36

グループ名: 【D】2019年電気学会産業応用部門大会講演論文集

発行日: 2019/08/20

タイトル(英語): 3D Simulation Analysis of Electrical Characteristics by pillar width and concentration design with Super-Junction Structure

著者名: 神林 紘斗(神奈川工科大学),工藤 嗣友(神奈川工科大学),對馬 広隆(東北学院大学),菅原 文彦(東北学院大学)

著者名(英語): Hiroto Kanbayashi|Tsugutomo Kudoh|Hirotaka Tsushima|Fumihiko Sugawara

キーワード: 3Dシミュレーション|横型構造|自己バイアス|MOS, 3D simulation|Lateral structure|Self-biased|MOS

PDFファイルサイズ: 425 Kバイト