RF SAW/BAWデバイス用レーザプローブ

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: ECT07080

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門　電子回路研究会

発行日: 2007/10/23

タイトル(英語): A Laser Probe for RF SAW/BAW Devices

著者名: 橋本 研也(千葉大学),柏 景介(千葉大学),大森 達也(千葉大学),山口 正恆(千葉大学)

著者名(英語): Ken-ya Hashimoto(Chiba University),Keisuke Kashiwa(Chiba University),Tatsuya Omori(Chiba University),Masatsune Yamaguchi(Chiba University)

キーワード: 弾性表面波素子|薄膜バルク波共振子|レーザプローブ|ナイフエッジ法|サニアック干渉計

要約(日本語): 現在の移動体通信機器では,高い周波数選択性を持ち,かつ小型・低損失な弾性表面波素子や高周波バルク波素子を利用したフィルタ,アンテナ共用器が多用されている。筆者らは自らの素子開発を支援するため,GHz帯まで動作し,高分解能・高感度でありながら,使い易く,高速測定が可能な光プローブシステムの開発を進めている。本報告では,現在までの進捗状況と今後の方針について紹介する。

要約(英語): This paper reviews recent progress of a laser probe developed in the authors’ lab for the diagnosis of radio frequency (RF) surface acoustic wave (SAW) devices. The knife-edge method was employed for the selective detection of surface bending caused by th

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 704 Kバイト