RF MEMSの最新技術動向

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: ECT07081

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門　電子回路研究会

発行日: 2007/10/23

タイトル(英語): Review on the Latest Development of RF MEMS

著者名: 田中 秀治(東北大学)

著者名(英語): Shuji Tanaka(Tohoku University)

キーワード: RF MEMS|メカニカルフィルタ|共振子|RF MEMSスイッチ|コグニティブ無線

要約(日本語): 本論文では,最新のRF MEMS（micro electromechanical system）の研究開発動向を,特に無線情報通信への応用に焦点を当てて解説する。まず,MEMS共振子を用いたフロントエンドメカニカルフィルタを概観する。MEMS共振子の共振周波数は,リソグラフィで定義できる形状によって決まるので,複数周波数のメカニカルフィルタを同一ウェハ上に形成できる可能性がある。次に,RF MEMSスイッチとその応用を概観する。RF MEMSは高周波LSIと集積化することによって,その価値を画期的に上げら

要約(英語): This review paper introduces the latest development of RF MEMS (micro electromechnical system), especially focusing on the application to wireless communication systems. First, front-end mechanical filters composed of MEMS resonators are overviewed. The r

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 758 Kバイト