微細加工技術を応用したチップスケール原子磁気センサ用気密封止技術

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: ECT11103

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 電子回路研究会

発行日: 2011/11/21

タイトル(英語): Sealing technique of potassium vapor cells for chip-scale atomic magnetmater

著者名: 平井 義和(京都大学),辻本 和也(京都大学),菅野 公二(京都大学),土屋 智由(京都大学),田畑 修(京都大学)

著者名(英語): Hirai Yoshikazu(Kyoto University),Tsujimoto Kazuya(Kyoto University),Sugano Koji(Kyoto University),Tsuchiya Toshiyuki(Kyoto University),Tabata Osamu(Kyoto University)

キーワード: 原子磁気センサ|パッケージング|ガラスフリット|封止|接合|ＭＥＭＳ|atomic magnetometer|packaging|glass frit|sealing|bonding|MEMS

要約(日本語): 原子スピン偏極を利用して微弱な磁場を測定する原子磁気センサが注目されてい>> る．我々は原子磁気センサ構成要素のうち，センサ感度を支配するアルカリ金属封入セルの小型化や実装技術に関する研究を行っている．本発表ではセルを構成するSiとガラス基板の接合界面に形成した“犠牲マイクロ流路”を，不要な気体の排気，バッファガスの導入に用いた後，接合封止材料のリフローによって気密封止する封止技術について報告する．

要約(英語): This paper reports on a novel sealing technique to enhance the performance of a micro-fabricated alkali vapor cell for chip-scale atomic magnetometers. The proposed sealing technique utilizes sacrificial microchannels as a feedthrough for air evacuation and buffer gas filling which are eventually sealed by glass-frit reflow.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,089 Kバイト