単結晶ダイヤモンドを使った1ポートSAW共振子の高Q化

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: ECT11108

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 電子回路研究会

発行日: 2011/11/21

タイトル(英語): High-Q one port resonator fabricated on the single crystal diamond

著者名: 山田 晴也(千葉大学),小田原 達矢(千葉大学),藤井 知(千葉大学),大森 達也(千葉大学),橋本 研也(千葉大学),鳥居 博典(MESアフティ),梅澤 仁(産業技術総合研究所),鹿田 真一(産業技術総合研究所)

著者名(英語): Yamada Haruya(Chiba University),Odawara Tatsuya(Chiba University),Fujii Satoshi(Chiba University),Omori Tatsuya(Chiba University),Hashimoto Ken-ya(Chiba University),Torii Hironori(MESAFTY),Umezawa Hitoshi(AIST),Shinichi Shikata(AIST)

キーワード: 単結晶ダイヤモンド|ＡｌＮ|１ポートＳＡＷ共振子|single crystal of diamond|AlN|one port SAW resonator

要約(日本語): ダイヤモンドの高音速性の特徴を活かし、フィラメントCVD法によるダイヤモンド薄膜を用いてGHz帯の表面波弾性素子の研究を行ってきた。ダイヤモンド薄膜やその上に形成される圧電体薄膜の結晶性は向上したものの、SAWデバイスで使われる単結晶材料に比較し、伝搬損失が大きい問題があった。本論文では、高温高圧合成法で合成された単結晶ダイヤモンドのタイプIb基板を用い、IDT/AlN/diamond 構造の1ポート共振子の試作に初めて成功した。その共振子の評価結果、共振周波数5.1GHz、Q 1708が得られた。また、オーミック損を除いた伝搬損失は0.018dB/λを得、f・Q値としても10^13と大きな値であった。これらの値は、ダイヤSAW共振子が5GHz領域における低位相ノイズ発振器用途としてのポテンシャルを持つことが示された。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,315 Kバイト