DRIEを用いた高周波プラノコンベックス水晶振動子の研究

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: ECT11109

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 電子回路研究会

発行日: 2011/11/21

タイトル(英語): High Frequency Plano-convex Resonator Fabricated by DRIE

著者名: 大井川 寛(早稲田大学),銭 鋭(早稲田大学),陳 欣匯(早稲田大学),山崎 大輔(早稲田大学),植田 敏嗣(早稲田大学)

著者名(英語): Hiroshi OIGAWA(Waseda University),Rui QIAN(Waseda University),Hsin-Hui CHEN(Waseda University),Daisuke YAMAZAKI(Waseda University),Toshitsugu UEDA(Waseda University)

キーワード: 水晶振動子|プラノコンベックス|ＭＥＭＳ|ＤＲＩＥ|フォトレジスト|リフロー|Quartz resonator|Plano-convex|MEMS|DRIE|Photo resist|Reflow

要約(日本語): 振動子のみ成らずセンサ等にも多用可能なAT-cut水晶振動子は，スプリアスの影響でQ値や温度特性が著しく低下することが知られている。スプリアスを抑制する方法として，水晶断面をコンベックス型にする対策が有効である。本報告では，レジストとDRIEを用いて，ウェハ上に数十のコンベックスを同時に製作する方法ついて検討した。さらに，ウェットエッチングによって水晶を薄く加工し，高Q値の高周波振動子を開発した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 882 Kバイト