CBCM法を用い、0.001fF分解能、浮遊容量分離型、400個の容量TEGマトリクス・テスト・ストラクチャの提案

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: ECT13038

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 電子回路研究会

発行日: 2013/03/07

タイトル(英語): A proposal of 400 capacitor TEG matrix test structure with 0.001fF resolution, separated stray capacitance, by using charge based capacitance measurements (CBCM)

著者名: 菅原 光俊(東京工業大学),盛 健次(東京工業大学),角川 佳弘(東京工業大学),松澤 昭(東京工業大学)

著者名(英語): Sugawara Mitsutoshi(Tokyo Institute of Technology),Mori Kenji(Tokyo Institute of Technology),Tsunokawa Yoshihiro(Tokyo Institute of Technology),Matsuzawa Akira(Tokyo Institute of Technology)

キーワード: ＭＯＭ容量|ＣＢＣＭ法|浮遊容量|ＴＥＧ|MOM capacitor|CBCM|stray capacitance|TEG

要約(日本語): CBCM法を使い、浮遊容量分離、印加電圧可変、印加バイアス可変、シリアルアクセス型の400個容量TEGマトリクス・テスト・ストラクチャを提案する。5fFのMOM容量の各種バリエーションを実測し、0.001fFの分解能を確認した。

要約(英語): We propose 400 capacitor TEG matrix test structure by using CBCM method with separated stray capacitors, variable input voltage, variable bias voltage and serial access. We have measured 5fF MOM capacitor cell variations, and demonstrated 0.001fF resolution.

原稿種別: 日本語

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