フッ素レーザによる鉄薄膜の光化学的表面改質とマイクロパターニング

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: ECT13101

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 電子回路研究会

発行日: 2013/11/22

タイトル(英語): Photochemical Surface Modification of Iron Thin Films by F2 Laser for Micro-Patterning

著者名: 粟飯原 雄太(防衛大学校),大越 昌幸(防衛大学校),山下 嗣人(関東学院大学),井上 成美(防衛大学校)

著者名(英語): Awaihara Yuta(National Defense Academy),Okoshi Masayuki(National Defense Academy),Yamashita Tsugito(Kanto Gakuin University),Inoue Narumi(National Defense Academy)

キーワード: フッ素レーザー|鉄薄膜|耐食性|表面改質|マイクロパターニング

要約(日本語): 鉄薄膜は錆発生が顕著であり，産業用途は極めて制限されている．一方，利用することができれば強磁性や生体適合性などを生かしたマイクロデバイスなどへの応用が可能になるものと考えられる．本研究では，フッ素レーザー誘起光化学反応により鉄薄膜極表面に緻密なFe3O4酸化改質層を形成し，耐食性を呈する鉄薄膜の形成を行った．また，本手法と化学エッチングとを組み合わせて，鉄薄膜のマイクロパターニングも可能にした．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 990 Kバイト