インクジェット工法によるPZT薄膜の形成

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: ECT13106

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 電子回路研究会

発行日: 2013/11/22

タイトル(英語): Fabrication of PZT thin films by inkjet printing

著者名: 町田 治(リコー),下福 光(リコー),竹内 惇(リコー),秋山 善一(リコー),太田 英一(リコー)

著者名(英語): Machida Osamu(RICOH COMPANY,LTD.),Shimofuku Akira(RICOH COMPANY,LTD.),Takeuchi Atsushi(RICOH COMPANY,LTD.),Akiyama Yoshikazu(RICOH COMPANY,LTD.),Ohta Eiichi(RICOH COMPANY,LTD.)

キーワード: チタン酸ジルコン酸鉛|ダイレクトパターニング|インクジェットプリンティング|表面エネルギー制御|自己組織化膜|コーヒーステイン|lead zirconate titanate |direct patterning|inkjet printing|surfave energy controlling|self assembled monolayer|coffee stain

要約(日本語): 強誘電体の薄膜デバイスとしての応用では、膜のパターニングが必要である。インクジェット工法(IJP)では低環境負荷、工数低減などの観点から産業用途への応用が検討されているが、今回IJPとCSD(Chemical Solution Deposition)法、表面エネルギー制御を組合せ、パターニングされたPZT薄膜の形成を行なった。またアクチュエータとしての利用を考慮し、繰返し塗布により厚膜化を試み、パターンの寸法精度を確保しつつ、2μm厚のPZT薄膜を形成することに成功した。更にこのPZT薄膜をアクチュエータするインクジェットヘッドを製作し、その可能性について検討した。

要約(英語): In this study, a finely patterned lead zirconate titanate (PZT) film is fabricated by a combination of inkjet printing (IJP), chemical solution deposition (CSD), and surface energy controlling technology. We achieved high accuracy patterning in the inkjet deposition process. The PZT film, which can be used as an actuator, has enough thickness after iterating the set of surface treatment, inkjet deposition, and baking. We confirmed the electrical characteristic of this film and drop ejection from inkjet head mounting it.

原稿種別: 日本語

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