集積回路に組み込み可能な8角形MOSFET型センサの温度検出方法の検討と評価

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: ECT16002

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 電子回路研究会

発行日: 2016/01/21

タイトル(英語): A evaluation of the temperature detection method for circuit implementable octagonal MOSFET

著者名: 山崎 義人(山形大学),貝和 航陽(山形大学),渡辺 晃輔(山形大学),原田 知親(山形大学)

著者名(英語): Yoshihito Yamazaki(Yamagata univ.),Koyo Kaiwa(Yamagata univ.),Kousuke Watanabe(Yamagata univ.),Tomochika Harada(Yamagata univ.)

キーワード: センサ|温度|８角形|応力|sensor|temperature|octagon|stress

要約(日本語): センサによる回路の状態把握は、回路動作の異常を検知するために必要である。その例として、8角形MOSFET型応力検出素子を作製することで、基板内の応力検出が可能となった。しかし、センサの温度による特性変化を考える必要がある。先行研究にて、9端子MOSFET型温度検出素子を作製し、温度検出を行ってきたことから、8角形MOSFET型センサにおいてもが温度検出可能か、実際に回路の一部として組み込み、回路動作と併用しながら検討した。

要約(英語): Monitoring the circuit operating state using sensor device is required for detecting problems of circuit operation. For example, we designed the octagonal MOSFET stress sensor to detect 8 direction stresses on Si substrate. However this sensor has a characteristic change due to temperature. In previous research, we developed 9 outputs MOSFET to detect temperature. Thus we use octagonal MOSFET sensor as the temperature sensing. In this paper, we evaluate it implemented with other circuit.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,848 Kバイト