MEMSセンサ用CV変換アンプにおけるダイナミックレンジ補償技術

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: ECT17073

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 電子回路研究会

発行日: 2017/07/20

タイトル(英語): Compensation of dynamic range for CV amplifier of MEMS sensor

著者名: 古林 優希(日立製作所),大島 俊(日立製作所)

著者名(英語): Yuki Furubayashi(Hitachi, ltd.),Takashi Oshima(Hitachi, ltd.)

キーワード: ＭＥＭＳセンサ|ＣＶアンプ|高感度化|ダイナミックレンジ補償|MEMS sensor|CV amplifier|High sensitivity|Dynamic compensation

要約(日本語): 静電容量型MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)センサの高感度化のためにはCV変換アンプによる信号増幅が必要である。しかし、MEMSの容量値は、信号による容量変化に比べてはるかに大きいため、CV変換アンプの出力可能範囲は著しく制限される課題があった。そこで、可変容量によりMEMSの容量値をキャンセルする回路構成を提案し、シミュレーションにより出力可能範囲の拡大を検証した。

要約(英語): In order to increase the sensitivity of a capacitive MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) sensor, signal amplification by a CV amplifier is necessary.However, since the capacitance value of MEMS is much larger than the capacitance variation by the signal, there is a problem that the output range of the CV amplifier is severely limited. Therefore, we propose a novel architecture that cancels the capacitance value of MEMS with variable capacitance of circuit, and verified expansion of output range by simulation.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 601 Kバイト