エロージョンによる容量比ミスマッチを抑制する単位容量配置アルゴリズム

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: ECT18051

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 電子回路研究会

発行日: 2018/06/15

タイトル(英語): Unit Capacitor Placement Algorithm to Suppress Capacitance Mismatch due to Erosion

著者名: 中尾 太陽(鹿児島大学),大畠 賢一(鹿児島大学)

著者名(英語): Takaharu Nakao(Kagoshima University),Kenichi Ohhata(Kagoshima University)

キーワード: ＣＭＰ|エロージョン|単位容量配置アルゴリズム|容量比ミスマッチ|ＭＯＭ容量|容量型ＤＡ変換器|CMP|erosion|unit capacitor placement algorithm|capacitance mismatch|MOM capacitor|capacitive DAC

要約(日本語): 銅配線の形成工程で発生するエロージョンにより、容量アレイの周辺部と中心部では容量ミスマッチが発生することが知られている。しかし、従来のコモンセントロイドアルゴリズムではエロージョンによるミスマッチを抑制することはできなかった。本発表では、容量アレイを同程度の容量値を有する複数の領域に分割し、領域毎に容量比に応じて単位容量を配置するアルゴリズムを提案し、その効果を簡易モデルを用いて検証する。

要約(英語): This paper describes a unit capacitor placement algorithm to suppress capacitance mismatch due to erosion. Conventional common-centroid algorithm cannot suppress the capacitance mismatch due to erosion. Therefore, we have proposed an algorithm that divides a capacitor array into plural regions with similar capacitance value and arranges unit capacitors according to the capacitance ratio for each region.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 803 Kバイト