VDEC-Rohm-0.18umプロセスにおける、高周波プローブ用PAD およびLC共振型発振器の試作

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: ECT18067

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 電子回路研究会

発行日: 2018/10/11

タイトル(英語): Fabrication of PAD and LC resonance type oscillator for high-frequency probe in VDEC-Rohm-0.18um process

著者名: 渡邊 光(法政大学),嘉藤 貴博(法政大学),安田 彰(法政大学)

著者名(英語): Hikaru Watanabe(Hosei University),Takahiro Kato(Hosei University),Akira Yasuda(Hosei University)

キーワード: ＰＡＤ|ＲＦ|ＳＰＩ|ＬＣ|発振器|PAD|RF| SPI|LC|Oscillator

要約(日本語): VDEC-Rohm-0.18umプロセスで製造されたLC共振型デジタル発振器(DCO)において，高周波パッドを用いた高周波プローバーによる測定を行った。高周波パッドを考慮し，推奨DRCルールに従い寄生容量の削減を行うVIA抵抗を用いたレイアウトの検討を行った。パッドの寄生容量は従来のレイアウトの1/3に削減された。

要約(英語): An LC resonance type digital controlled oscillator (DCO) fabricated by the VDEC - Rohm - 0.18um process is evaluated with a high-frequency prober using high-frequency PAD. Regarding high-frequency PAD, we follow the recommended DRC rule and examined layout using VIA resistance to reduce parasitic capacitance. The parasitic capacitance of the PAD is reduced to one-third of conventional layout.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,427 Kバイト