極性反転ZnO圧電多層構造を用いた高効率な超音波トランスデューサ

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: ECT18104

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 電子回路研究会

発行日: 2018/12/07

タイトル(英語): High efficiency ultrasonic transducer using polarity inverted ZnO multi-layered structure

著者名: 間島 毅(早稲田大学),清水 貴博(早稲田大学),柳谷 隆彦(早稲田大学)

著者名(英語): Tsuyoshi Majima(Waseda Univ.),Takahiro Shimidzu(Waseda Univ.),Takahiko Yanagitani(Waseda Univ.)

キーワード: 極性反転圧電多層構造|ＺｎＯ|トランスデューサ|超音波顕微鏡|Polarity inverted structure|ZnO|ultrasonic transducer|ultrasonic microscope

要約(日本語): 非破壊検査に用いられる超音波顕微鏡では超音波の放射および受信に超音波トランスデューサが使われる。超音波顕微鏡は高分解能化のために高周波数の超音波が用いられるが、画像の鮮明化のために高感度、高効率なトランスデューサが必要となる。本研究ではZnOの極性反転多層構造を用いることでトランスデューサの高効率化を目指した。

要約(英語): Polarity inverted n-layered piezoelectric film ultrasonics transducer operates in n-th mode.The emission area and the thickness of the film increases by n-times compared to single-layered transducer. Large emission area increases sound pressure in focus point. This allows to improve S/N ratio. Moreover, increasing the thickness of piezoelecttric film improve the high voltage endurance. High voltage operation leads to S/N ratio. In this study, we report the fabrication of ZnO thin film polarity inverted structure on the SiO2 glass buffer rod by RF magnetron sputtering. The piezoelectricity and performance of transducer in water medium were investigated.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,295 Kバイト