横波モードのc 軸傾斜配向 ScAlN 薄膜 / 音響多層膜反射器共振子を用いた UHF帯液体粘性評価

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: ECT18106

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 電子回路研究会

発行日: 2018/12/07

タイトル(英語): Shear mode acoustic resonators of c-axis tilted ScAlN film on multilayer for liquid viscosity measurement in the UHF ranges

著者名: 五月女 巧(早稲田大学),山川 愉生(早稲田大学),唐澤 嶺(早稲田大学),柳谷 隆彦(早稲田大学)

著者名(英語): Takumi Soutome(Waseda Univ.),Yui Yamakawa(Waseda Univ.),Rei Karasawa(Waseda Univ.),Takahiko Yanagitani(Waseda Univ.)

キーワード: 粘度センサ|ＳｃＡｌＮ薄膜|厚みすべりモード|ＱＣＭ|粘性侵入長|ＲＦマグネトロンスパッタリング|Viscosity sensor|ScAlN film|Thickness Shear Mode|QCM|Penetration depth| RF magnetron sputtering

要約(日本語): c軸が傾斜配向したScAlN薄膜をスパッタ法により形成する技術を確立するとともに、音響ブラッグ多層膜の上に成長させ、横波モード圧電音響共振子を得た。さらにその共振子をUHF帯における液体（グリセリン）粘性評価に応用した。

要約(英語): Acoustic resonators which excites thickness shear mode wave have been used for liquid viscosity measurement. Combination of small mass resonator, large electromechanical coupling coefficient and suppression to extensional shear mode is important to improve sensitivity of the measurement. In this study, c-axis 48 degree tilted ScAlN film (k’152 =13.0%) on acoustic multilayer were fabricated by using RF magnetron sputtering. The evaluation of viscosity of liquids was conducted in the UHF range by using the resonator of c-axis tilted ScAlN thin film.

原稿種別: 日本語

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