常誘電相PMN-PT/強誘電相PZT分極反転エピ膜音響共振子の周波数スイッチング特性

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: ECT18108

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 電子回路研究会

発行日: 2018/12/07

タイトル(英語): Cubic PMN-PT/piezoelectric tetragonal PZT epitaxial stack polarity inverted resonators for frequency switchable filters

著者名: 野田 隆太(早稲田大学),清水 貴博(早稲田大学),柳谷 隆彦(早稲田大学)

著者名(英語): Ryuta Noda(Waseda University),Takahiro Shimidzu(Waseda University),Takahiko Yanagitani(Waseda University)

キーワード: 分極反転構造|強誘電体|周波数スイッチナブルフィルタ|エピタキシャル成長|Polarity inverted structure|Ferroelectric films|Frequency switchable filters|Epitaxial growth

要約(日本語): 直流バイアスにより圧電性を誘起可能な常誘電相PMN-PTと強誘電相PZTを組み合わせることで、分極反転音響共振子を得た。この多層構造はすべてスパッタ法によるエピタキシャル成長によって形成されている。さらにこの共振子の直流バイアス印加による周波数スイッチング特性をネットワークアナライザにより測定した。

要約(英語): DC-induced cubic epitaxial PMN-PT films were grown on piezoelectric tetragonal PZT epitaxial films by using sputtering growth. Frequency switching properties due to DC bias field were investigated in these polarity inverted stack resonators.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,126 Kバイト