LiTaO3/水晶構造における縦型リーキーSAWの共振特性

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: ECT18109

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 電子回路研究会

発行日: 2018/12/07

タイトル(英語): Resonance properties of longitudinal leaky SAW on LiTaO3/quartz structure

著者名: 浅川 詩織(山梨大学),林 純貴(山梨大学),山谷 浩介(山梨大学),鈴木 雅視(山梨大学),垣尾 省司(山梨大学),手塚 彩水(早稲田大学),桑江 博之(早稲田大学),米内 敏文(日本製鋼所),岸田 和人(日本製鋼所),水野 潤(早稲田大学)

著者名(英語): Shiori Asakawa(University of Yamanashi),Junki Hayashi(University of Yamanashi),Kosuke Yamaya(University of Yamanashi),Masashi Suzuki(University of Yamanashi),Shoji Kakio(University of Yamanashi),Ami Tezuka(Waseda University),Hiroyuki Kuwae(Waseda University),Toshifumi Yonai(The Japan steel Works,Ltd),Kazuhiro Kishida(The Japan steel Works,Ltd),Jun Mizuno(Waseda University)

キーワード: 縦型漏洩弾性表面波|弾性表面波フィルタ|スプリアス応答|周波数温度特性|Longitudinal leaky surface acoustic wave|Surface acoustic wave filters|Sprious response|Temperature coefficient of frequency

要約(日本語): 近年、移動通信システムの発展に伴い、高周波化に有利な縦型漏洩弾性表面波(LLSAW) を利用した異種材料接合構造が提案，検討されている。本報告では、LT/水晶構造上のLLSAW共振特性について，スプリアス応答が小さく，Q値が高い特性を得るための電極Al膜厚を有限要素法(FEM)により求めた結果を報告する。また、LT/水晶構造における共振特性及び周波数温度特性(TCF)の測定結果を報告する

要約(英語): In this report, to obtain a structure with low attenuation for longitudinal leaky surface acoustic waves (LLSAWs), the propagation and resonance properties on a LiTaO3 (LT) thin plate bonded to an X-cut quartz substrate were theoretically investigated. In particular, the electrode film thickness dependence of spurious response on bonded structure was analyzed. Moreover, resonance properties and temperature coefficient of frequency (TCF) of LLSAW on LT/X-cut quartz samples were measured.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 829 Kバイト