LiTaO3/水晶構造上のリーキーSAW特性の解析―支持基板の物理定数依存性―

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: ECT18110

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 電子回路研究会

発行日: 2018/12/07

タイトル(英語): Analysis of Leaky SAW Propagation Properties for LiTaO3/Quartz Structure -Dependence of Physical Constants of Support Substrate-

著者名: 林 純貴(山梨大学),浅川 詩織(山梨大学),鈴木 雅視(山梨大学),垣尾 省司(山梨大学),手塚 彩水(早稲田大学),桑江 博之(早稲田大学),米内 敏文(日本製鋼所),岸田 和人(日本製鋼所),水野 潤(早稲田大学)

著者名(英語): Junki Hayashi(University of Yamanashi),Shiori Asakawa(University of Yamanashi),Masashi Suzuki(University of Yamanashi),Shoji Kakio(University of Yamanashi),Ami Tezuka(Waseda University),Hiroyuki Kuwae(Waseda University),Toshifumi Yonai(The Japan Steel Works, Ltd.),Kazuhito Kishida(The Japan Steel Works, Ltd.),Jun Mizuno(Waseda University)

キーワード: 水晶|漏洩弾性表面波|接合構造|結合係数|伝搬減衰|Quartz|Leaky Surface Acoustic Wave|Bonded Structure|Coupling Factor|Attenuation

要約(日本語): 本報告では，LiTaO3/水晶構造において，支持基板の物理定数(弾性定数cij，誘電率εij，密度ρ)の各テンソルが，リーキー弾性表面波のK2 に与える影響度を理論的に検討した．K2が最大となる規格化板厚h/λ=0.15付近において，支持基板のc66が正，c44，ε11，ε33，ρが負に変化することにより，K2への影響が大きく，その絶対値は，ρ，c44，c66，ε11，ε33の順に大きいことがわかった．また，SAW伝搬特性に対してほとんど影響を与えないcijテンソルが存在した．

要約(英語): In this study, the influence of each tensor of physical constants (elastic constant cij, dielectric constant εij, and density ρ) of the support substrate on coupling factor (K2) for a leaky surface acoustic wave (LSAW) on a LiTaO3 thin plate bonded to quartz substrate structure was investigated theoretically.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 625 Kバイト