ミニマルファブでのリングオシレータ試作結果報告

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: ECT20060

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 電子回路研究会

発行日: 2020/10/08

タイトル(英語): Design and Measurement of Fifteen-stage Ring Oscillators by using Minimal fab tool

著者名: 飯塚 治己(横河ソリューションサービス),丸山 智史(横河ソリューションサービス),北山 侑司(横河ソリューションサービス),柴 育成(横河ソリューションサービス),永井 亨(横河ソリューションサービス)

著者名(英語): Harumi Iitsuka(Yokogawa Solution Service Corporation),Satoshi Maruyama(Yokogawa Solution Service Corporation),Yuji Kitayama(Yokogawa Solution Service Corporation),Yasunari Shiba(Yokogawa Solution Service Corporation),Tooru Nagai(Yokogawa Solution Service

キーワード: ミニマルファブ|リングオシレータ|ＰＭＯＳ|Minimal Fab|Ring Oscillater|PMOS

要約(日本語): 我々は、ミニマル装置を使用して15段のPMOSリングオシレータを作製し、その評価実験を行ったので報告する。本プロセスではソースドレイン形成に液体ドーパントを用い、Al-Siの2層配線で回路を作製した。今回、作製したPMOSの実効ゲート長は約6μmであり、オシレータの発振周波数は2.14MHzであった。また、同一ウェハ上にあるTEGから抽出したSPICEパラメータでは2.45MHzの発振周波数が得られた。_x000D_

要約(英語): In this paper, we have reported to design, fabricate and analysis a fifteen-stage ring oscillator using a minimal-fab. It consists of fifteen PMOS inverters. The PMOS source/drain area was performed by solution dopant. The circuit oscillated with a frequency of 2.14MHz. The simulated the oscillation was a frequency of 2.45MHz.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,621 Kバイト