熱的反応論的非平衡を考慮した時間依存電磁熱流体モデルによるAr-N2 パルス変調誘導熱プラズマ下流部N密度解析

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: ED05037

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　放電研究会

発行日: 2005/06/07

タイトル(英語): Numerical Investigation on Distribution of Nitrogen Atomic Density in Ar-N2 Pulse-Modulated Induction Thermal Plasmas by a Time-Dependent Chemically and Thermally Non-Equilibrium Model

著者名: 田中 康規(金沢大学)

著者名(英語): Yasunori Tanaka(Kanazawa University)

キーワード: Ar -N 2 誘導熱プラズマ|パルス変調|重粒子温度|電子温度|反応速度|反応容器

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,413 Kバイト