CH4 プラズマ支援化学気相堆積によるカーボンナノチューブ生成とプラズマ解析 ~実験と計算機解析による炭素量の比較~

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: ED05068

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　放電研究会

発行日: 2005/08/04

タイトル(英語): Carbon Nanotube Growth by CH4 Plasma and Its Analysis

著者名: 沖田 篤士(北海道大学),須田 善行(北海道大学),尾関 充史(北海道大学),菅原 広剛(北海道大学),酒井 洋輔(北海道大学),小田昭紀 (名古屋工業大学),中村 潤児(筑波大学)

著者名(英語): Atsushi Okita(Hokkaido University),Yoshiyuki Suda(Hokkaido University),Atsushi Ozeki(Hokkaido University),Hirotake Sugawara(Hokkaido University),Yosuke Sakai(Hokkaido University),AkinoriOda (Nagoya Institute of Technology),Junji Nakamura(Tsukuba University)

キーワード: カーボンナノチューブ(CNT)|プラズマ支援化学気相堆積(PECVD)|1次元流体モデル|メタン

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,406 Kバイト