同軸二重ノズル型電極を用いたZピンチプラズマからのEUV放射特性

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: ED05147

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　放電研究会

発行日: 2005/12/08

タイトル(英語): Characteristics of EUV radiation from Z-pinch plasma using coaxial double nozzle electrode

著者名: 坂本 敏郎(東京工業大学),宋仁陪 (東京工業大学),S.R.Mohanty (東京工業大学),小林 靖典(東京工業大学),渡辺 正人(東京工業大学),河村 徹(東京工業大学),沖野 晃俊(東京工業大学),堀岡 一彦(東京工業大学),堀田 栄喜(東京工業大学)

著者名(英語): Toshiro Sakamoto(Tokyo Institute of Technology),Inho Song(Tokyo Institute of Technology),S.R.Mohanty (Tokyo Institute of Technology),Yasunori Kobayashi(Tokyo Institute of Technology),Masahito Watanabe(Tokyo Institute of Technology),Toru Kawamura(Tokyo Institute of Technology),Akitoshi Okino(Tokyo Institute of Technology),Kazuhiko Horioka(Tokyo Institute of Technology),Eiki Hotta(Tokyo Institute of Technology)

キーワード: EUV 光源|Z-ピンチプラズマ|同軸二重ノズル型電極|ガスカーテン

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 880 Kバイト