間欠ジルコニウムアークを用いたPBII&D におけるイオン電流およびイオン密度

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: ED05152

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　放電研究会

発行日: 2005/12/09

タイトル(英語): Ion density and ion current characteristics in PBII&D using a pulsed zirconium cathodic arc

著者名: 明石周平 (同志社大学),行村建 (同志社大学)

キーワード: フラズマイオン注入|堆積|ジルコニア|コーティング|陰極アーク

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 992 Kバイト