電界応答型シリコーンアクチュエータMEMSの開発

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: ED06036

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　放電研究会

発行日: 2006/01/27

タイトル(英語): Development of Electric Field Response Type Silicone Actuator for MEMS Device

著者名: 松木 憲児(早稲田大学),小迫 雅裕(鹿児島高専),田中 祀捷(早稲田大学)

著者名(英語): Kenji Matsuki(Waseda Univ.),Kozako Masahiro(Kagoshima NCT),Toshikatsu Tanaka(Waseda Univ.)

キーワード: ソフトロボット| ポリマーアクチュエータ| マクスウェル応力| シリコーンゴム| MEMS| マイクロピンセット

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,785 Kバイト