大気圧高周波パルス放電特性の駆動電圧スルーレート依存性

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: ED06041

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　放電研究会

発行日: 2006/06/29

タイトル(英語): A Dependence of properties for atmospheric rf discharge on the excitation voltage slew rate

著者名: 佐藤 直幸(茨城大学),藤田 佳正(茨城大学),柳平 丈志(茨城大学),池畑 隆(茨城大学)

著者名(英語): Naoyuki Sato(Ibaraki University),Masayoshi Fujita(Ibaraki University),Takeshi Yanagidaira(Ibaraki University),Takashi Ikehata(Ibaraki University)

キーワード: 絶縁破壊|大気圧高周波プラズマ|電圧スルーレート|誘電体バリヤ放電

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 724 Kバイト