シャンティングアークを用いた窒素含有プラズマ生成とCNx成膜-の適用

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: ED06051

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　放電研究会

発行日: 2006/06/30

タイトル(英語): Production of carbon-contained nitrogen plasma using shunting arc discharge for carbon nitride film preparation

著者名: 今西 圭吾(岩手大学),熊谷 倫(岩手大学),向川 政治(岩手大学),高木 浩一(岩手大学),藤原 民也(岩手大学),行村 建(同志社大学),須田善行 (北海道大学)

著者名(英語): Keigo Imanishi(Iwate University),Osamu Kumagai(Iwate University),Seiji Mukaigawa(Iwate University),Koichi Takaki(Iwate University),Tamiya Fujiwara(Iwate University),Ken Yukimura(Doshisha University),Yoshiyuk iSuda(Hokkaido University)

キーワード: アーク放電|シャンティングアーク|複合プラズマ|プラズマイオン注入|CNx薄膜

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 706 Kバイト