プラズマイオン注入成膜法で作製したDLC膜中のピンホール欠陥の評価と抑制

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: ED06087

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　放電研究会

発行日: 2006/11/10

タイトル(英語): Evaluation and Reduction of Pinhole Defects in DLC Film Prepared with Plasma-based Ion Implantation and Deposition

著者名: 西野 航(兵庫県立大学),藤原 閲夫(兵庫県立大学),内田 仁(兵庫県立大学),八束充保 (兵庫県立大学)

著者名(英語): Wataru Nishino(University of Hyogo),Etsuo Fujiwara(University of Hyogo),Hitoshi Uchida(University of Hyogo),Mitsuyasu Yatsuzuka(University of Hyogo)

キーワード: ダイヤモンドライクカーボン|ピンホール欠陥|プラズマイオン注入成膜法|臨界不動態電流密度|耐食性

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,582 Kバイト