円筒形キセノンICP光源のプローブ測定

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: ED06101

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　放電研究会

発行日: 2006/11/10

タイトル(英語): Probe Measurement of Cylindrical Type Xenon ICP Discharge Lamp

著者名: アハマドナズリ (愛媛大学),近藤 章(愛媛大学),武田 拓也(愛媛大学),本村 英樹(愛媛大学),神野 雅文(愛媛大学)

著者名(英語): Ahmad Nazri(Ehime University),Akira Kondo(Ehime University),Takuya Takeda(Ehime University),Hideki Motomura(Ehime University),Masafumi Jinno(Ehime University)

キーワード: ダブルプローブ法|ICP|キセノン|電子温度|電子密度

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,029 Kバイト