Non-Equilibrium Modelling of High Power-Density Ar-N2-H2 Induction Plasmas at Reduced Pressure

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: ED07077

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　放電研究会

発行日: 2007/02/02

タイトル(英語): Non-Equilibrium Modelling of High Power-Density Ar-N2-H2 Induction Plasmas at Reduced Pressure

著者名: Yasunori Tanaka(Kanazawa University)

著者名(英語): Yasunori Tanaka(Kanazawa University)

キーワード: Ar-N2-H2 induction thermal plasma|thermally non-equilibrium|chemically non-equilibrium|Ar-N2-H2 induction thermal plasma|thermally non-equilibrium|chemically non-equilibrium

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 591 Kバイト