大気圧下で生成された容量性結合型反応性ガス高周波放電の特性

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: ED07084

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　放電研究会

発行日: 2007/05/25

タイトル(英語): Properties of atmospheric pressure capacitive RF discharges containing reactive gases

著者名: 木村 高志(名古屋工業大学),棚橋 裕基(名古屋工業大学)

著者名(英語): Takashi Kimura(Nagoya Institute of Technology),Hiroki Tanahashi(Nagoya Institute of Technology)

キーワード: 大気圧放電|容量性高周波放電|フッ素化合物|ヘリウム希釈|酸素添加|Atmospheric pressure discharge|capacitive RF discharge|fluoride compound|He dilution|O2 addition

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 405 Kバイト