ドロップレットフリー数十kW級大電力パルススパッタリング（HPPS）グロープラズマの生成

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: ED07087

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　放電研究会

発行日: 2007/05/25

タイトル(英語): Generation of droplet-free high-power pulsed-sputtering (HPPS) glow plasma with several tens of kilo-watts

著者名: 行村 建(同志社大学),三枝亮介 (同志社大学),玉垣 浩(神戸製鋼所),沖本 忠雄(神戸製鋼所)

著者名(英語): Ken Yukimura(Doshisha University),Ryosuke Mieda(Doshisha University),Hiroshi Tamagaki(KOBE STEEL,LTD.),Tadao Okimoto(KOBE STEEL,LTD.)

キーワード: パルスグロー|パルスマグネトロンスパッタ|HIPMS|HPPMS|HPPS|Pulsed glow|Pulsed magnetron sputtering|Ionized sputtering|Highly charged metal ions|Highly density plasma|High power pulse sputtering|HIPIMS|HPPMS|HPPS

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 448 Kバイト