コロナリアクタを用いたAr中微量SF6ガス除去法に関する検討

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: ED07094

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　放電研究会

発行日: 2007/05/26

タイトル(英語): Study of removal of dilute SF6 in Ar gas using a corona reactor

著者名: 白澤 敦(山形大学),登坂裕哉 (山形大学),南谷 靖史(山形大学),東山 禎夫(山形大学)

著者名(英語): Atsushi Shirasawa(Yamagata University),Yuya Tosaka(Yamagata University),Yasushi Minamitani(Yamagata University),Yoshio Higashiyama(Yamagata University)

キーワード: コロナリアクタ|SF6|Ar|corona reactor|SF6|Ar|He|DC corona discharging|pulsed power discharging

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 400 Kバイト