流体モデルによるナノチューブ成長用プラズマの数値シミュレーション

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: ED07131

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　放電研究会

発行日: 2007/09/13

タイトル(英語): Numerical Simulation of Discharge Plasmas for Carbon Nanotube Growth Using One-Dimensional Fluid Model

著者名: 小田 昭紀(名古屋工業大学),沖田 篤士(北海道大学),須田 善行(北海道大学)

著者名(英語): Akinori Oda(Nagoya Institute of Technology),Atsushi Okita(Nihon Electric Power Company),Yoshiyuki Suda(Nihon Electric Power Company)

キーワード: カーボンナノチューブ|ハイドロカーボン系プラズマ|高周波放電プラズマ|流体モデル|シミュレーション|carbon nantube|hydrocarbon plasmas|radio-frequency discharge plasmas|fluid model|simulation

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 511 Kバイト