ハイパワーパルススパッタグロー放電(HPPS)の電圧、電流特性および発光スペクトル

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: ED07133

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　放電研究会

発行日: 2007/09/13

タイトル(英語): Voltage and current characteristics and emission spectra of high power pulsed sputtering (HPPS) discharge

著者名: 三枝亮介 (同志社大学),行村 建(同志社大学),玉垣 浩(神戸製鋼所),沖本 忠雄(神戸製鋼所)

著者名(英語): Ryosuke Mieda(Doshisha University),Ken Yukimura(Doshisha University),Hiroshi Tamagaki(KOBE STEEL,LTD.),Tadao Okimoto(KOBE STEEL,LTD.)

キーワード: パルス放電プラズマ|グロー放電|ペニング放電|スパッタ|発光スペクトル|Pulse discharge plasma|Glow discharge|Penning discharge|Sputter|Emission spectra

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 409 Kバイト