純粋CF4,C2F6,C3F8気体中の電子のドリフト速度と縦方向拡散係数の再測定

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: ED07135

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　放電研究会

発行日: 2007/09/13

タイトル(英語): New Measurement of Drift Velocity and Longitudinal Diffusion Coefficient of Electrons in Pure CF4, C2F6, and C3F8

著者名: 中村 義春(慶応義塾大学)

著者名(英語): Yoshiharu Nakamura(Keio University)

キーワード: CF4|C2F6|C3F8|電子ドリフト速度|電子縦方向拡散係数|電子輸送特性|2重シャッタードリフト装置|CF4|C2F6|C3F8|Electron drift velocity|Longitudinal diffusion coefficient|Electron transport parameter|Double-shutter electron drift tube

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 412 Kバイト