モンテカルロシミュレーションによる高周波CF4プラズマ中電子エネルギー分布周期変化の圧力依存性解析

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: ED08038

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　放電研究会

発行日: 2008/03/10

タイトル(英語): Monte Carlo analysis of the pressure-dependence of periodical response of the electron energy distribution in radio-frequency CF4 plasma

著者名: 森 直樹(北海道大学),菅原 広剛(北海道大学),荒木田大嗣 (北海道大学),江口 礼良(北海道大学),須田 善行(北海道大学),酒井 洋輔(北海道大学)

著者名(英語): Naoki Mori(Hokkaido University),Hirotake Sugawara(Hokkaido University),Daishi Arakita(Hokkaido University),Noriyoshi Eguchi(Hokkaido University),Yoshiyuki Suda(Hokkaido University),Yosuke Sakai(Hokkaido University)

キーワード: CF4プラズマ|モンテカルロ法|荷電粒子数密度分布|電子エネルギー分布|プラズマバルク|CF4 plasma|Monte Carlo method|number density distribution of charged species|the electron energy distribution|plasma bulk

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 569 Kバイト