真空紫外分光法による窒素系誘導結合プラズマの診断

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: ED08042

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　放電研究会

発行日: 2008/03/10

タイトル(英語): Diagnostics of Inductively Coupled Plasma through Pure and Ar-Diluted Nitrogen by Vacuum Ultraviolet Spectroscopy

著者名: 中野 俊樹(防衛大学校),白井 博之(防衛大学校),北嶋 武(防衛大学校)

著者名(英語): Toshiki Nakano(National Defense Academy),Hiroyuki Shirai(National Defense Academy),Takeshi Kitajima(National Defense Academy)

キーワード: 窒素原子|誘導結合プラズマ|解離|真空紫外吸収分光法|準安定原子|nitrogen atom|inductively coupled plasma|dissociation|vacuum ultraviolet absorption spectroscopy|metastables

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 503 Kバイト