アルコールを用いたプラズマ支援化学気相堆積法によるカーボンナノチューブ生成

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: ED08044

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　放電研究会

発行日: 2008/03/10

タイトル(英語): Carbon nanotube growth by alcohol plasma-enhanced chemical vapor deposition

著者名: 沖田 篤士(北海道大学),須田 善行(北海道大学),菅原 広剛(北海道大学),酒井 洋輔(北海道大学),小田 昭紀(名古屋工業大学),中村 潤児(筑波大学)

著者名(英語): Atsushi Okita(Hokkaido University),Yoshiyuki Suda(Hokkaido University),Hirotake Sugawara(Hokkaido University),Yosuke Sakai(Hokkaido University),Akinori Oda(Nagoya Institute of Technology),Junji Nakamura(University of Tsukuba)

キーワード: アルコールプラズマ|カーボンナノチューブ|プラズマ支援化学気相堆積法|発光分光分析|質量分析|Alcohol plasma|Carbon nanotube|Plasma-enhanced chemical vapor deposition|Optical emission spectroscopy|Mass spectroscopy

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 787 Kバイト