レーザトリガ型Sn EUV放電光源の開発

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: ED08051

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　放電研究会

発行日: 2008/05/29

タイトル(英語): Development of Laser Triggered Sn Discharge EUV Light Source

著者名: 山田 淳三郎(東京工業大学),Zhu Qiushi(東京工業大学),岸 望(東京工業大学),渡辺 正人(東京工業大学),Majid MASNAVI(東京工業大学),沖野 晃俊(東京工業大学),河村 徹(東京工業大学),堀岡 一彦(東京工業大学),堀田 栄喜(東京工業大学)

著者名(英語): Junzaburo Yamada(Tokyo Institute of Technology),Zhu Qiushi(Tokyo Institute of Technology),Nozomu Kishi(Tokyo Institute of Technology),Masato Watanabe(Tokyo Institute of Technology),Majid MASNAVI(Tokyo Institute of Technology),Akitoshi Okino(Tokyo Institute of Technology),Tohru Kawamura(Tokyo Institute of Technology),Kazuhiko Horioka(Tokyo Institute of Technology),Eiki Hotta(Tokyo Institute of Technology)

キーワード: EUV|リソグラフィ|放電|すず|EUV|lithography|discharge|tin

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,415 Kバイト