レーザーアシスト放電プラズマEUV光源の高効率化に関する研究

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: ED08053

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　放電研究会

発行日: 2008/05/29

タイトル(英語): Study on laser-assisted discharge plasmas for efficient EUV emission

著者名: 勝木 淳(熊本大学),富丸薫文 (熊本大学),秋山 秀典(熊本大学)

著者名(英語): Sunao Katsuki(Kumamoto University),Nobufumi Tomimaru(Kumamoto University),Hidenori Akiyama(Kumamoto University)

キーワード: レーザーアシスト放電|プラズマ|極端紫外線光源|レーザーアブレーション|時間分解イメージング|パルスパワー|Laser-assisted discharge|plasma|extreme ultraviolet light source|laser ablation|time resolved imaging|pulsed power

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,358 Kバイト