シャンティングアークを用いた金属プラズマの生成

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: ED09023

グループ名: 【A】基礎･材料･共通部門　放電研究会

発行日: 2009/05/28

タイトル(英語): Production of metal plasma using shunting arc discharge

著者名: 青木 宏憲(岩手大学),向川 政治(岩手大学),高木 浩一(岩手大学),藤原 民也(岩手大学)

著者名(英語): Hironori Aoki(Iwate University),Seiji Mukaikawa(Iwate University),Koichi Takaki(Iwate University),Tamiya Fujiwara(Iwate University)

キーワード: シャンティングアーク|プラズマイオン注入|DLC膜|Ti|Shunting arc|plasma-based ion implantation|DLC film|Ti

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 917 Kバイト