放電プラズマEUV光源における放電後の滞留ガスの観測

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: ED09032

グループ名: 【A】基礎･材料･共通部門　放電研究会

発行日: 2009/05/28

タイトル(英語): Breakdown characteristics of post discharge phase in discharge produced plasma EUV light source

著者名: 安井 大貴(熊本大学),山本 達也(熊本大学),佐久川貴志 (熊本大学),勝木淳 (熊本大学),秋山 秀典(熊本大学)

著者名(英語): Taiki Yasui(Kumamoto University),Tatsuya Yamamoto(Kumamoto University),Sunao Katsuki(Kumamoto University),Takashi Sakugawa(Kumamoto University),Hidenori Akiyama(Kumamoto University)

キーワード: レーザーアシスト放電|極端紫外線光源|高繰り返し運転|絶縁回復|レーザー誘起蛍光法|Laser ablation|Laser-assist discharge|extreme ultraviolet light source|driving high repetition rate|breakdown characteristics

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 678 Kバイト