微細ガス流を用いた大気圧マイクロ放電の反応場としての利用とその特性

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: ED09083

グループ名: 【A】基礎･材料･共通部門　放電研究会

発行日: 2009/08/06

タイトル(英語): Characterization of microdischarges with a miniature gas flow and their applications as a plasma reactor

著者名: 柳 重幸(東京工業大学),井深 真治(東京工業大学),石井 彰三(東京工業大学)

著者名(英語): Shigeyuki Yanagi(Tokyo institute of Technology),Shinji Ibuka(Tokyo institute of Technology),Shozo Ishii(Tokyo institute of Technology)

キーワード: マイクロプラズマ|プラズマジェット|直流電力|低周波電力|コロナ放電|グロー放電|microplasma|plasma jet|DC power|LF power|corona discharge|glow discharge

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,675 Kバイト