シングルスロット型表面波プラズマ源のための3次元シミュレーションコードの開発

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: ED09084

グループ名: 【A】基礎･材料･共通部門　放電研究会

発行日: 2009/08/06

タイトル(英語): Development of 3D-Simulation Code of Surface Wave Plasma with Single Slot Antenna

著者名: 田中 啓基(京都工芸繊維大学),比村 治彦(京都工芸繊維大学),入江 昭彦(京都工芸繊維大学),三瓶明希夫 (京都工芸繊維大学),政宗 貞男(京都工芸繊維大学)

著者名(英語): Hiroki Tanaka(Kyoto Institute of Technology),Haruhiko Himura(Kyoto Institute of Technology),Akihiko Irie(Kyoto Institute of Technology),Akio Sanpei(Kyoto Institute of Technology),Sadao Masamune(Kyoto Institute of Technology)

キーワード: FDTD法|プラズマプロセス|表面波|シングルスロットアンテナ|FDTD method|plasma processing|surface wave|single srot antenna

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 740 Kバイト