リング状溝電極を用いた高密度容量結合型プラズマの生成とその空間分布の均一化

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: ED09122

グループ名: 【A】基礎･材料･共通部門　放電研究会

発行日: 2009/08/09

タイトル(英語): Production of high density capacitive coupled plasma using a powered electrode with a ring-shaped trench and realization of its uniform profile

著者名: 大津 康徳(佐賀大学),浦崎 浩史(佐賀大学),堀田 智宏(佐賀大学),三沢 達也(佐賀大学),藤田 寛治(佐賀大学)

著者名(英語): Yasunori Ohtsu(Saga University),Hiroshi Urasaki(Saga University),Tomohiro Hotta(Saga University),Tatsuya Misawa(Saga University),Hiroharu Fujita(Saga University)

キーワード: リング状溝電極|高周波ホロー陰極効果|容量結合放電|二重リング溝|ハイブリッドリング電極|ring-shaped trench|radio-frequency hollow cathode effect|capacitively coupled discharge|double ring-shaped trenches|hybrid ring electrode

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 567 Kバイト