マイクロストリップ型マイクロ波励起大気圧吹き出しプラズマによりカーボン物質合成

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: ED09129

グループ名: 【A】基礎･材料･共通部門　放電研究会

発行日: 2009/08/09

タイトル(英語): Carbon material depositions by a microwave-excited atmospheric-pressure blowing plasma based on microstrip line

著者名: 金 載浩(産業技術総合研究所),キム ドンミン(東京大学),大崎 博之(東京大学),桂井 誠(放送大学)

著者名(英語): Jaeho Kim(AIST),Dongmin Kim(Univ.of Tokyo),Hiroyuki Ohsaki(Univ.of Tokyo),Makoto Katsurai(Open Univ.of Japan)

キーワード: 大気圧プラズマ|マイクロ波プラズマ|マイクロストリップライン|カーボン物質|化学気相合成|atmospheric pressure plasma|microwave plasma|microstrip line|carbon material|CVD

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 959 Kバイト