放電励起カリウムプラズマを用いる小型極端紫外光源の放射特性

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: ED10028

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 放電研究会

発行日: 2010/05/14

タイトル(英語): Properties of a XUV source using discharge-excited pottasium plasma

著者名: 寺内 宏満(宇都宮大学大学院),菊地 啓介(宇都宮大学大学院),東口 武史(宇都宮大学),湯上 登(宇都宮大学),谷田貝 豊彦(宇都宮大学)

著者名(英語): Hiromitsu Terauchi(Utsunomiya University),Keisuke Kikuchi(Utsunomiya university),Takeshi Higashiguchi(Utsunomiya university),Noboru Yugami(Utsunomiya university),Toyohiko Yatagai(Utsunomiya university)

キーワード: 極端紫外光|放電励起プラズマ|キャピラリー|ホローカソード|カリウム|extreme ultraviolet|discharge-excited plasma|capillary|hollow cathode|pottasium

要約(日本語): カリウムを塗布したキャピラリー電極間に高電圧パルス (最大放電電圧: 30 kV，最大放電電流: 200 A) を印加することで生成されたカリウムプラズマから，波長40 nm 近傍にバンド幅 8 nmの広帯域な発光が観測された．電子温度および発光エネルギーの放射角度分布より，ホローカソード放電の可能性が示唆され，高温かつ高密度のプラズマが生成されていると考えられる．発表では，小型かつ高効率な極端紫外光源の放射特性について報告する．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 731 Kバイト