CF4/希ガス混合気体を用いた大気圧誘電体バリア放電の発光分光特性

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: ED10116

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 放電研究会

発行日: 2010/10/22

タイトル(英語): Optical emission spectroscopy of atmospheric pressure dielectric barrier discharges in CF4/noble gas mixtures

著者名: 井出 存(首都大学東京),出原 慎(首都大学東京),白井 直機(首都大学東京),内田 諭(首都大学東京),杤久保 文嘉(首都大学東京)

著者名(英語): Ide Tamotsu(Tokyo Metropolitan University),Idehara Makoto(Tokyo Metropolitan University),Shirai Naoki(Tokyo Metropolitan University),Uchida Satoshi(Tokyo Metropolitan University),Tochikubo Fumiyoshi(Tokyo Metropolitan University)

キーワード: 誘電体バリア放電|非熱平衡大気圧プラズマ|ＣＦ４分解|発光分光|dielectric barrier discharge|atmospheric pressure nonthermal plasma|CF4 decomposition|optical emission spectroscopy

要約(日本語): Ar/CF4混合ガスを用いて非熱平衡大気圧プラズマを生成したとき，250-300nmと500-700nmに連続スペクトルが観測される。前者はCF2からの発光であり，後者はCF4分解に伴う発光と考えられる。即ち，発光特性はCF4分解特性を強く反映する。本研究では，誘電体バリア放電によって希ガス/CF4混合ガスのプラズマを生成し，このときの発光分光特性を計測することで，プラズマ上流部から下流部へ至る放電特性の詳細を調査した。

要約(英語): Atmospheric pressure nonthermal plasma in Ar/CF4 mixtures radiates continuous spectra which originate from CF4 decomposition. Therefore, the optical emission spectroscopy is effective method to observe the plasma-assisted CF4 decomposition process. In this work, we have investigated the dielectric barrier discharges in CF4/noble gas mixtures by space-resolved optical emission spectroscopy.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 6,920 Kバイト