永久磁石利用大口径ダブルレイヤープラズマ源の開発

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: ED11044

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 放電研究会

発行日: 2011/06/04

タイトル(英語): Development of large-diameter permanent-magnets-expanding plasma source containing a double layer

著者名: 鈴木 達也(岩手大学),高橋 和貴(岩手大学),藤原 民也(岩手大学)

著者名(英語): Tatsuya Suzuki(Iwate University),Kazunori Takahashi(Iwate University),Tamiya Fujiwara(Iwate University)

キーワード: 高周波放電|発散プラズマ|ダブルレイヤー|永久磁石|イオンビーム|radiofrequency discharge|magnetically expanding plasma|electric double layer|permanent magnets|ion beam

要約(日本語): ダブルレイヤー(DL)によって励起されるイオンビームの断面積を拡大するため，永久磁石利用発散型プラズマ源の大口径化を行った．プラズマ源開口端付近でイオンエネルギー分布関数の径方向分布を計測した結果，プラズマ源内径に相当する直径約13cmの超音速イオンビームを観測した．また，プラズマ源内の高密度領域にプラズマ終端板を接触した際にDLが消失し，イオン加速が起こらないことが明らかになった．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 727 Kバイト