放電励起希土類プラズマからの極端紫外光放射

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: ED11046

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 放電研究会

発行日: 2011/06/04

タイトル(英語): Extreme ultraviolet emission from discharge-produced Rare-earth plasma

著者名: 大塚 崇光(宇都宮大学大学院),東口 武史(宇都宮大学大学院),江 偉華(長岡技術科学大学),湯上 登(宇都宮大学大学院),遠藤 彰(早稲田大学)

著者名(英語): Otsuka Takamitsu(Utsunomiya University),Higashiguchi Takeshi(Utsunomiya University),Jiang Weihua(Nagaoka University of Technology),Yugami Noboru(Utsunomiya University),Endo Akira(Waseda University)

キーワード: レーザー生成プラズマ|放電生成プラズマ|極端紫外光|希土類|極端紫外光リソグラフィー

要約(日本語): 原子番号が大きい元素のプラズマから放射される極端紫外光の研究を行っている．レーザー励起，放電励起希土類プラズマから波長 6.7 nm 近傍に強い発光が観測され，高効率光源の実現にはプラズマによる自己吸収効果の抑制が必要であることが明らかになった．本講演ではレーザー励起，放電励起希土類プラズマからの極端紫外光放射特性及び実験に用いたパルスパワー装置について報告する．

要約(英語): We have demonstrated laser-produced and discharged-produced plasma extreme ultraviolet sources operating in 6.5 6.7 nm region based on rare-earth targets of Gd and Tb coupled with a Mo/B4C multilayer mirror. It is shown to be important to use a low initial density target and/or to produce low electron density plasma for efficiency extreme ultraviolet sources when using high-Z targets.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,492 Kバイト